NEG吸氣劑泵的工作原理基于吸附劑表面的getter效應，通過將氣體分子吸附在表面上，從而有效地降低真空系統的壓力。以下是NEG吸氣劑泵的工作原理的簡要說明：

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NEG吸氣劑泵

吸附劑材料： NEG吸氣劑泵的核心是吸附劑，通常采用一種或多種金屬合金，如鈦合金（Ti-Zr-V）或鋯合金。這些材料的表面具有高度活性，能夠吸附氣體分子。

Getter效應： 吸附劑表面上的getter材料具有強烈的親合力，吸引氣體分子吸附在其表面上。這種效應被稱為getter效應，使得氣體分子能夠緊密附著在吸附劑表面。

非蒸發性： NEG吸氣劑泵是一種非蒸發性的系統，與傳統的蒸發源不同，它不會釋放蒸氣。相反，吸附劑將氣體分子吸附在表面上，并將其“固定”在那里。

運行溫度： NEG吸氣劑泵通常在室溫至幾百攝氏度的范圍內工作。在一些應用中，可能需要對吸附劑進行加熱以激活getter效應，但并非所有系統都需要加熱。

吸附氣體種類： NEG吸氣劑泵對多種氣體都具有較好的吸附效果，包括氫氣、氦氣、氮氣、氧氣、水蒸氣等。這使得它在不同應用場景中都能夠有效地降低氣體壓力。

真空系統中的位置： NEG吸氣劑泵通常安裝在真空系統中的氣體流通路徑上，確保氣體分子能夠接觸到吸附劑表面，從而被有效吸附。

有效抽速： NEG吸氣劑泵的抽速取決于吸附劑的面積和性能。吸氣劑的大面積和吸附效果可以在相對短的時間內將氣體從系統中吸附出去。

壽命： NEG吸氣劑泵通常具有較長的壽命，可以達到數年或更長時間，這取決于使用環境和操作條件。

以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的Agilent安捷倫NEG吸氣劑泵工作原理的介紹。